Y5T188 激光器減薄，與臺階儀厚度檢測原理

邊發(fā)射激光器的制造，是先在襯底上一層層的成長資料，長出有源層，長出P型半導(dǎo)體，長觸摸層。

成長好資料

之后去刻蝕結(jié)構(gòu)，刻好波導(dǎo)槽，再然后鍍膜金屬層做正電極，再再然后翻面鍍膜負(fù)電極。

襯底，要一次次做工藝，不能太薄，要不就很簡單裂。

可做完之后，假如直接鍍膜負(fù)電極，那么，激光器這個PN結(jié)的電流通道就會很長。激光器的等效電阻會很大

假如襯底很薄，激光器的等效電阻很低

厚的襯底，才不簡單裂開，便利進(jìn)行后續(xù)的成長、刻蝕、鍍膜等等。

薄的襯底，有很好的功能，PN結(jié)內(nèi)阻更小，散熱通道更短。

所以，一般的做法是，用厚襯底來做工藝流程，做完之后再對襯底進(jìn)行減薄。取得更好的功能和散熱

襯底減薄，一般用機械方法，便是金剛石砂輪打磨，一點點的磨薄。

薄膜之后，再用更小的顆粒去拋光。讓厚度更均勻�？傻�是，在微米量級，其實仍是會有高凹凸低的凸凹現(xiàn)象。

厚度檢測也很重要，看減薄做的行不行。厚度檢測里常用的一款設(shè)備叫“臺階儀”，介紹一種電感式臺階儀的原理。

臺階儀與待檢測面的高度固定，也便是下圖三個線圈與臺面的高度不變，中間觸針，和觸針頂端的鐵芯，是能夠凹凸彈動的

便是個變壓器原理，左邊溝通電，電磁改換會讓右邊感應(yīng)出溝通電壓。

觸針劃過襯底，襯底的凹凸改變，會導(dǎo)致右側(cè)的兩組線圈所感應(yīng)電壓不同。

一般測驗△U的改變，就能知道被測物的厚度描摹。