|
檢測中心光學輪廓儀基本原理檢測中心光學輪廓儀基本原理 1. 筆直掃描（VSI） 利用光的干與原理即光程差持平時即發(fā)生干與條紋，經(jīng)過馬達驅動然后改變鏡頭與待測樣品之間的距離帶動干與條紋的移動，到達對樣品掃描的意圖。終究得到樣品的三維描摹，外表粗糙度等特征。一般用于丈量凹凸差值180nm 以上樣品（如圖2） 。 2.相位偏移掃描（PSI） 利用光的干與原理即光程差持平時即發(fā)生干與條紋，經(jīng)過馬達驅動然后改變鏡頭與待測樣品之間的距離，然后發(fā)生相位偏移，帶動干與條紋的移動，到達對樣品掃描的意圖。終究得到樣品的三維描摹，外表粗糙度等特征。一般用于丈量凹凸差值130nm 以下樣品，丈量超潤滑平面等。對環(huán)境的要求很高，包括震動，噪聲等。 本文由輪廓儀整理 |
