日本粗糙度儀傳感器性能測驗
選用德國蔡司Axioskop40顯微鏡對實驗制備的上電極和下電極進行調查;選用美國布魯克Dektak XT臺階儀對電極及濕敏膜厚度進行丈量;選用德國耐馳STA449F3熱分析儀對濕敏膜固化溫度打開研討。
傳感器測驗選用日本東榮公司出產的WLS-3型濕度發(fā)生器發(fā)生標準濕度環(huán)境;選用北京瑞普公司出產的HZ2790型LCR數字電橋對傳感器的輸出特性進行了測驗;選用自制鹽箱(NaCl飽滿鹽溶液鹽箱內空氣相對濕度75.5 % RH和LiCl飽滿鹽溶液鹽箱內空氣相對濕度12 % RH,20 ℃時)對傳感器的響應時刻進行了測驗。
本文日本粗糙度儀整理