非接觸式粗糙度輪廓儀淺析表面粗糙度測量

　　外表粗糙度丈量是指將外表粗糙度比較樣塊依據(jù)視覺和觸覺與被測外表比較，判別被測外表粗糙度相當(dāng)于那一數(shù)值，或丈量其反射光強(qiáng)變化來鑒定外表粗糙度(見激光測長技能)。

　　比較法

　　將外表粗糙度比較樣塊（簡稱樣塊）依據(jù)視覺和觸覺與被測外表比較，判別被測外表粗糙度相當(dāng)于那一數(shù)值，或丈量其反射光強(qiáng)變化來鑒定外表粗糙度(見激光測長技能)。樣塊是一套具有平面或圓柱外表的金屬塊，外表經(jīng)磨、車、鏜、銑、刨等切削加工，電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的外表粗糙度。有時(shí)可直接從工件中選出樣品經(jīng)過丈量并鑒定合格后作為樣塊。使用樣塊依據(jù)視覺和觸覺鑒定外表粗糙度的辦法盡管簡潔，但會(huì)受到主觀因素影響，常不能得出正確的外表粗糙度數(shù)值。

　　印摸法

　　在實(shí)踐丈量中,常會(huì)遇到深孔,盲孔.凹槽,內(nèi)螺紋等既不能運(yùn)用儀器直接丈量,也不能運(yùn)用樣板比較的外表.這是常用印摸法.印摸法是使用一些無流動(dòng)性和彈性的塑性材料（如白臘等）貼合在 被測外表上.將被測外表的概括復(fù)制成模.然后丈量印模,從而來鑒定被測外表的粗糙度.

　　觸針法

　　使用針尖曲率半徑為 2微米左右的金剛石觸針沿被測外表緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)擴(kuò)大、濾波、核算后由顯現(xiàn)儀表指示出外表粗糙度數(shù)值，也可用記載器記載被測截面概括曲線。一般將僅能顯現(xiàn)外表粗糙度數(shù)值的丈量工具稱為外表粗糙度丈量儀（見彩圖），同時(shí)能記載外表概括曲線的稱為外表粗糙度概括儀（簡稱概括儀，這兩種丈量工具都有電子核算電路或電子核算機(jī)，它能主動(dòng)核算出概括算術(shù)平均偏差Rα，微觀不平度十點(diǎn)高度RZ，概括最大高度Ry和其他多種鑒定參數(shù)，丈量效率高，適用于丈量Rα為0.025～6.3微米的外表粗糙度。

　　干與法

　　使用光波干與原理 (見平晶、激光測長技能)將被測外表的形狀誤差以干與條紋圖形顯現(xiàn)出來，并使用擴(kuò)大倍數(shù)高 （可達(dá)500倍）的顯微鏡將這些干與條紋的微觀部分?jǐn)U大后進(jìn)行丈量，以得出被測外表粗糙度。使用此法的外表粗糙度丈量工具稱為干與顯微鏡。這種辦法適用于丈量Rz和Ry為 0.025～0.8微米的外表粗糙度。

　　光切法

　　光線經(jīng)過狹縫后構(gòu)成的光帶投射到被測外表上，以它與被測外表的交線所構(gòu)成的概括曲線來丈量外表粗糙度。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡1后，以45°的傾斜角將狹縫投影到被測外表，構(gòu)成被測外表的截面概括圖形，然后經(jīng)過物鏡 2將此圖形擴(kuò)大后投射到分劃板上。使用測微目鏡和讀數(shù)鼓輪（圖中未示）先讀出h值，核算后得到H 值。使用此法的外表粗糙度丈量工具稱為光切顯微鏡。它適用于丈量RZ和Ry為0.8～100微米的外表粗糙度，需要人工取點(diǎn)，丈量效率低。

本文由非接觸式粗糙度輪廓儀采集