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非接觸式3D微觀輪廓形狀測量機(jī)
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Opt-scope 是具有納米級分辨率,非接觸式,可高效測量整個(gè)工件表面形狀的新型三維測量機(jī)?闪Ⅲw地捕捉工件表面的特性,滿足解析的需要。 【產(chǎn)品特點(diǎn)】 ■快速完成測量 Opt-scope 利用白光干涉原理,使用非接觸方式可快速完成整個(gè)工件表面粗糙度和輪廓形狀的測量,與觸針式三維表面測量機(jī)測量時(shí),X.Y 軸還需不停移動(dòng)相比,測量速度更快,用時(shí)更短。 ■可對機(jī)械加工面的表面性狀進(jìn)行非接觸三維測量和評價(jià) 利用東京精密獨(dú)特的算法,使我們能通過白光干涉顯微鏡更清晰地獲取機(jī)械加工面的形狀。可對應(yīng)高研磨表面微細(xì)形狀的測量以及汽車零部件等機(jī)械加工部品表面的測量,測量對象大幅擴(kuò)大。 ■適用于大型工件的表面粗糙度·表面缺陷和微小輪廓的測量 最大測量高度為200mm。即使安裝固定夾具或測量大型工件,也有足夠的測量高度。應(yīng)用多樣,可用于軸承等滑動(dòng)面的三維粗糙度/ 劃傷/ 磨損的分析。砂輪和硬質(zhì)合金刀片尖端的形狀評價(jià),半導(dǎo)體硅片表面的劃傷的檢測。 【豐富應(yīng)用】
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