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非接觸式表面形狀測(cè)量裝置PF-
收藏
非接觸式是以光線代替接觸式觸針。包括共焦方式和白色干涉方式等多種不同原理的方式。此外,也有僅將接觸式檢測(cè)器改為光傳感器型或顯微鏡類型等多種形態(tài)。在此,以基恩士的形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)VK-X 系列為例,對(duì)共焦方式進(jìn)行說(shuō)明。 |
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非接觸式表面形狀測(cè)量裝置PF-
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非接觸式是以光線代替接觸式觸針。包括共焦方式和白色干涉方式等多種不同原理的方式。此外,也有僅將接觸式檢測(cè)器改為光傳感器型或顯微鏡類型等多種形態(tài)。在此,以基恩士的形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)VK-X 系列為例,對(duì)共焦方式進(jìn)行說(shuō)明。 |